电火花微孔加工的表面质量包括表面粗糙度和表面层化学物理机械性能。

表面粗糙度是电火花微孔加工规准的主要指标之一，大致划分为:粗规准加工表面粗糙度Ra≥ 25 μm；中规准加工表面粗糙度12.8 μm ≥ Ra ≥ 3.2μm；精规准加工表面粗糙度Ra <1.6 μm。

影响表面粗糙度的因素主要是单个脉冲放电能量，即指脉冲电压、脉冲电流和放电时间(脉冲宽度）等参数。例如，脉冲电流和脉冲宽度越大，脉冲能量也越大，加工形成的放电凹坑也就越大越深，表面粗糙度越差；在脉宽一定时，峰值电流越大，单个脉冲能量也越大，加工表面也越粗糙，此外，工件材料、电极材料及其表面粗糙度、工作液介质等，对加工表面粗糙度也有影响。

电火花微孔加工使工件表面的化学成分和机械物理性能发生变化，其变质层由熔化凝固层和热影响层组成。电火花微孔加工有表面渗碳、合金化、淬火等作用，也会引起氧化、烧伤、热应力、热变形、显微裂纹等热作用熔化凝固层厚度约有0.01 ~ 0.05 mm，而热影层厚度可达几毫米。对于不希望有变质层的工件，可采用规准转换，最后用精规准加工，以减小其厚度。

电火花微孔加工表面的特点有:

(1)每次脉冲火花放电形成一个坑穴，表面不易达到镜面。

(2)但坑穴能储存润滑油，表面有硬化层，耐磨性好。

(3)可以通过加工规准由粗到精的转换，多次操作得到较好的表面粗糙度，近年来精密、微细电火花微孔加工和液中混粉电火花微孔加工，可以达到准镜面Ra ≤0.1 μm的表面粗糙度。